變壓吸附制氮裝置始于20世紀60年代初，70年代實現了工業化生產。在此之前，傳統的工業空氣分離工廠大多采用低溫精餾法(深冷法)，20世紀80年代以來，通過CaX和LiX等具有吸附分離性能的沸石分子篩的相繼開發利用和工藝改進，變壓吸附空氣分離技術得到了迅速發展，與低溫空氣分離工廠相比，PSA過程啟動時間短、停車方便、能耗低、自動化程度高、維護方便。在不需要高純氧的中小型(100噸/天以下，3000Nm3/h)氧氣生產中，比冷法更有競爭力。變壓吸附制氮裝置廣泛應用于電爐煉鋼、有色金屬冶煉、玻璃加工、甲醇生產、炭黑生產、化肥煤氣、化學氧化工藝、紙漿漂白、污水處理、生物發酵、水產養殖、醫療、軍事等多個領域。40多年來，變壓吸附空分制氧技術的研究進展主要從兩個方面表現為：作為空分制氧吸附劑和吸附理論的研究方面，第二是空分制氧工藝循環過程的研究方面。

　　國內對這項技術的研究雖然起步很快，但長期以來發展比較慢。進入20世紀90年代，變壓吸附制氧設備的優越性逐漸得到認可，近年來各種工藝的設備相繼投入生產，給各行業帶來了巨大的經濟效益。變壓吸附制氮裝置的變壓吸附法是怎樣?

　　吸附分離利用吸附劑只分離特定氣體吸附和分析能力的差異。為了促進這一過程的進行，常用的加壓法和真空法等。利用分子變壓吸附分離空氣制造氧氣的機器，一種是利用分子篩對氮的吸附親和能力大于對氧的吸附親和力，分離氧氣和氮。第二，在碳分子篩微孔系統的狹縫中，氧的擴散速度比氮的擴散速度更快，因此可以在偏離平衡的狀態下分離氧氮。

　　變壓吸附法氧氣、氮氣在常溫下進行，其工藝有加壓吸附/常壓分析或常壓吸附/真空分析兩種，通常采用沸石分子篩氧氣、碳分子篩氮氣。進入20世紀90年代，我國的PSA/VPSA氧氣制造設備逐漸系列化，近年來鋰基分子篩性能更加穩定高效，得到了越來越多的大規模應用，實現了裝置大型化生產，單變壓吸附裝置產量高達40700m3/h，氧氣純度 90%。